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气体传感器中的新秀-MEMS传感器

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今天为您讲述一下气体传感器中的新秀-”MEMS传感器“,看看这颗小明星是如何发展壮大起来的,未来的市场占比又有多少呢?

         微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。微机电系统其内部结构一般在微米甚至纳米量级,是一个独立的智能系统。

        微机电系统是在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起来的,融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。

微机电系统是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统。MEMS是一项革命性的新技术,广泛应用于高新技术产业,是一项关系到国家的科技发展、经济繁荣和国防安全的关键技术。经过四十多年的发展,已成为世界瞩目的重大科技领域之一。

MEMS气体传感器

MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。与传统的传感器相比,它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。同时,在微米量级的特征尺寸使得它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。

MEMS传感器种类日益增多,有较为成熟的MEMS压力传感器、加速度传感器、陀螺仪、MEMS流量传感器、MEMS温度传感器, MEMS湿度传感器、还有斩露头角的MEMS气体传感器等等,产品具有广阔的市场应用空间,涉及汽车、电子、机械、材料、物理、化学、生物、医疗、工业、民用消费类产品等各个领域。

随着信息技术和物联网技术的发展,就像目前表现突出的智能手机和平板电脑的巨大市场需求,MEMS产业发展进入快车道, MEMS传感器会从现有的分立式传感器应用逐步向集成式、阵列式整体应用方案升级过渡。专家预计: 2020年全球MEMS产业将超过200亿美元!

业内人士都非常看好基于MEMS技术的化学/气体传感器,一致认同将成为未来的“明星”产品。新一代低功耗的MEMS气体传感器,有别于传统半导体气体传感器,不仅尺寸小,重量轻,而且功耗也非常低,成本会更低,新的产品技术打破了传统气体传感器的应用格局,未来在智能手机和可穿戴设备领域都将广泛采用,甚至会改变原有传统气体传感器的应用模式。

那么,MEMS气体传感器与传统的气体传感器具体的区别体现在哪呢?

一张图清楚让你清楚明白



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